在超純水實驗室中，最常用的檢測指標通常涵蓋以下幾個方面：

電阻率（Resistivity）：電阻率是衡量水的純凈程度的關鍵指標。超純水的電阻率通常在18.2 MΩ·cm（25°C）左右，表示水中幾乎沒有離子和雜質。

溶解性固體（Total Dissolved Solids，TDS）：TDS 指水中所有溶解性固體物質的總量，超純水的 TDS 應該非常低，通常在幾個 ppm （百萬分之幾）至幾十個 ppm 范圍內。

水質 pH 值：超純水的 pH 值通常接近中性，即約為 7 左右。這是一個衡量水樣酸堿性的指標。

氧化還原電位（Redox Potential）：超純水的氧化還原電位通常應接近 0 mV（標準氫電極），表示水樣處于氧化還原平衡狀態。

細菌總數（Total Bacterial Count）：超純水應該沒有細菌存在，因此細菌總數應該極低或不可檢測。

有機碳含量（Total Organic Carbon，TOC）：TOC 是衡量水中有機物含量的指標。超純水的 TOC 應該非常低，通常在幾個 ppb （十億分之幾）至幾十個 ppb 范圍內。

這些指標的檢測有助于確認超純水的純凈程度和適用性，特別是在高要求的實驗和應用中，確保水質滿足預期的標準和要求。實驗室通常會定期檢測這些指標，以確保超純水設備的正常運行并驗證水質符合要求。